● 最快可在5秒内完成一个fov区域的ct成像
● 大尺寸板状样品无需破坏,仍可获得高分辨率
● 可编程扫描工艺,简化操作人员的工作量
● 专用自动识别算法,定量统计器件内部的缺陷
x射线源
130kv/160kv
探测器
数字平板探测器
分辨率
5μm~30μm
基板面板
610mm×610mm
基板厚度
0.5mm~7.0mm(pcb)
基板重量
10kg
x射线防护
0.5μsv/h
▲ 技术参数为参考指标,更多规格型号,欢迎来电咨询